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    SEM的放大倍数(sem放大倍数怎么看)

    发布时间:2023-04-07 12:59:55     稿源: 创意岭    阅读: 112        

    大家好!今天让创意岭的小编来大家介绍下关于SEM的放大倍数的问题,以下是小编对此问题的归纳整理,让我们一起来看看吧。

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    本文目录:

    SEM的放大倍数(sem放大倍数怎么看)

    一、扫描电镜放大倍数的实质是什么?为什么样品上同一个点高倍聚焦后从低倍到高倍

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    首页 > 知识大讲堂 > 汽车/工具 > 仪器仪表 > 显微镜

    扫描电子显微镜的原理 扫描电子显微镜的性能参数和意义

    温暖·生活家

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    摘要:扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。那么你知道扫描电子显微镜的原理是什么吗?扫描电镜由电子枪发射出电子束,在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚,形成直径为5nm的电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,电子和样品相互作用产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子,再经过电信号放大器加以放大处理,最终成像在显示系统上。下面一起来看下扫描电子显微镜的其他知识。

    一、扫描电子显微镜的原理

    扫描电镜由电子枪发射出电子束(直径约50um),在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚,形成直径为5 nm的电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,电子和样品相互作用产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子,再经过电信号放大器加以放大处理,最终成像在显示系统上。

    试样可为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5~35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序做栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其他物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电信号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,可得到反应试样表面形貌的二次电子像。

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    二、扫描电子显微镜的主要性能参数及意义

    1、放大率

    与普通光学显微镜不同,在SEM中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。所以,SEM中,透镜与放大率无关。

    2、场深

    在SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

    3、作用体积

    电子束不仅仅与样品表层原子发生作用,它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用,所以存在一个作用“体积”。

    作用体积的厚度因信号的不同而不同:

    欧革电子:0.5~2纳米。

    次级电子:5λ,对于导体,λ=1纳米;对于绝缘体,λ=10纳米。

    背散射电子:10倍于次级电子。

    特征X射线:微米级。

    X射线连续谱:略大于特征X射线,也在微米级。

    4、工作距离

    工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

    如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。

    如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。

    通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

    5、成象

    次级电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所以通常使用次级电子。

    6、表面分析

    欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关,所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层(参见作用体积),所以只能用于表面分析。

    表面分析以特征X射线分析最常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高,后者非常精确,可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。

    二、sem上的工作距离会对图像放大倍数有影响吗

    一般情况下,物镜的放大倍数越高,工作距离越小;会有特殊高倍率长工作距物镜,但是一般情况下长工作距物镜的数值孔径,相比同等倍率下的正常物镜的数值孔径要小,也就是分辨率会有所下降。希望有所帮助----午禾科技

    三、TEM和SEM的工作原理差别?

    1. 扫描电子显微镜 SEM(scanning electron microscope) 工作原理:

      1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。

    2. 透射电镜TEM (transmission electron microscope)工作原理:

      是以电子束透过样品经过聚焦与放大后所产生的物像, 投射到荧光屏上或照相底片上进行观察。

    一、扫描电子显微镜 SEM(scanning electron microscope)的制造依据

    • 扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。

    • 同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

    • 扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

    二、透射电镜TEM (transmission electron microscope)的制造依据

    • 透射电镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~几十万倍。由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,必须制备更薄的超薄切片(通常为50~100nm)。

    • 其制备过程与石蜡切片相似,但要求极严格。要在机体死亡后的数分钟钓取材,组织块要小(1立方毫米以内),常用戊二醛和饿酸进行双重固定树脂包埋,用特制的超薄切片机(ultramicrotome)切成超薄切片,再经醋酸铀和柠檬酸铅等进行电子染色。

    • 电子束投射到样品时,可随组织构成成分的密度不同而发生相应的电子发射,如电子束投射到质量大的结构时,电子被散射的多,因此投射到荧光屏上的电子少而呈暗像,电子照片上则呈黑色。称电子密度高(electron dense)。反之,则称为电子密度低(electron lucent)。

    四、SEM能否观察镍致密性

    可以观察。

    需要你将你的样品进行抛光,最好再做一个横断面的抛光试样,这样在表面和横断面都可以观察。

    放大倍数需要样品进入SEM后具体观察,放大倍数不是问题。估计只需要很小的放大倍数,1000倍左右没什么问题

    以上就是关于SEM的放大倍数相关问题的回答。希望能帮到你,如有更多相关问题,您也可以联系我们的客服进行咨询,客服也会为您讲解更多精彩的知识和内容。


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